Zeta系列全固態(tài)射頻電源采用全固態(tài)它激式平衡射頻功放技術，工作頻率范圍為1MHz-400MHz，功率范圍從10KW至30KW，是為半導體生產(chǎn)制造和太陽能光伏生產(chǎn)制造設計的新一代功率源，主要應用包括射頻濺射，反應離子刻蝕，射頻偏置，多態(tài)等離子體，等離子體表面處理，射頻激勵CO2激光器系統(tǒng)和電感耦合等離子體系統(tǒng)等。
Zeta系列全固態(tài)射頻電源的優(yōu)勢：
1：高功率密度，在一個標準19英寸寬、4U(178mm)高的機箱內(nèi)集成了高達12KW的射頻輸出功率，并且交流轉直流的直流電源也在其中，減小了對客戶使用時場地的要求。
2：快速智能的駐波（VSWR）保護功能，Zeta系列射頻電源的駐波保護能在負載出現(xiàn)異常后毫秒級的時間內(nèi)快速啟動，可以及時的可靠的保護射頻電源不因負載的異常而損壞。
3：高可靠性高穩(wěn)定性，我們富有經(jīng)驗的工程師精心設計的射頻功放在任何負載下都能穩(wěn)定的輸出，負載在全Smith圖上無雜波。
4：先進的射頻功率測量系統(tǒng)，Zeta系列射頻電源的測量系統(tǒng)采用基于FPGA的數(shù)字中頻測控技術，能達到最嚴苛的半導體制程的功率精度要求。
5：先進的控制系統(tǒng)，Zeta系列射頻電源功率控制系統(tǒng)采用雙PID控制算法，能精確的穩(wěn)定的控制射頻電源的輸出功率。
6：智能的滅弧控制系統(tǒng)，可以通過參數(shù)設置準確的識別電弧。
7：支持掃頻。
8：雙PID、支持多級脈沖。
Zeta系列射頻電源通過遠程控制（使用Analog I/O 端口、串口或者網(wǎng)口控制）
