Lighting自動匹配器是專門設(shè)計(jì)用來將等離子體腔體工作時的阻抗（容性或感性）自動轉(zhuǎn)換成使射頻源輸出最大功率的狀態(tài)。Lighting自動匹配器采用全數(shù)字控制的步進(jìn)電機(jī)，是設(shè)計(jì)為頻率范圍為1MHz至81MHz，功率范圍為100W至30kW的射頻源提供使其輸出最大功率的阻抗。
Lighting自動匹配器按照使用的功率范圍可分為Lighting 1500，Lighting 5000，Lighting 20K等不同的系列。其中Lighting 1500的冷卻系統(tǒng)根據(jù)具體的使用情況可選擇水冷或風(fēng)冷，客戶可按照具體應(yīng)用情況選擇；Lighting 5000及更高功率的自動匹配系統(tǒng)的冷卻系統(tǒng)推薦使用水冷。
Lighting自動匹配器采用最新研發(fā)的模糊控制結(jié)合交叉系數(shù)匹配算法來自動調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速，匹配速度快如閃電；同時先進(jìn)高速的PHASE-MAG數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)在Pulse工作模式下可以獲得同CW模式下的數(shù)據(jù)率，即無論是Pulse模式還是CW模式都有相同的匹配速度，最低可以支持到0.1%的占空比。
我們將會由專業(yè)技術(shù)人員為客戶提供產(chǎn)品選型及使用指導(dǎo)，確保客戶能正確、有效地使用Lighting自動匹配器。另外我們的工程技術(shù)人員會根據(jù)客戶的具體要求提供頻率為1MHz至250MHz的產(chǎn)品定做
Lighting系列自動匹配器的技術(shù)特點(diǎn)：
1：創(chuàng)新的模糊控制結(jié)合交叉系數(shù)匹配算法實(shí)現(xiàn)快速、智能的匹配，在預(yù)設(shè)條件下1S內(nèi)完成匹配。
2：創(chuàng)新的模糊控制結(jié)合交叉系數(shù)匹配算法解決了以往匹配器陷車的問題，Lighting系列匹配能從任意起始位置開始尋找到匹配點(diǎn)。
3：全數(shù)字化控制技術(shù)，可以靈活的設(shè)定匹配參數(shù)。
4：支持脈沖工作模式
Lighting自動匹配器支持串口和網(wǎng)口通信，用戶可使用上位機(jī)便捷地進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。
Lighting自動匹配器的型號列表(點(diǎn)擊下面的產(chǎn)品型號查看產(chǎn)品規(guī)格）
