在薄膜太陽能電池的生產(chǎn)工藝中,有一套需要射頻電源的鍍膜工序,也是整個薄膜太陽能生產(chǎn)的關(guān)鍵工序之一,對射頻電源系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性要求很高,射頻電源系統(tǒng)的穩(wěn)定性直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率。這個應(yīng)用的最大難點是負(fù)載的阻抗一般是隨時變化的,負(fù)載阻抗的變化會導(dǎo)致自動匹配器的動作,即使使用國外著名公司的射頻電源和匹配器系統(tǒng)也會導(dǎo)致腔體不穩(wěn)定的情況發(fā)生,使得腔體熄火從而整個流水線作業(yè)中斷。我司工程人員仔細(xì)分析了此情況的發(fā)生過程,通過修改匹配器的算法和匹配范圍,使這種擾人的過程以后不再在薄膜太陽能電池生產(chǎn)的過程中發(fā)生,通過以上修改,射頻電源和匹配器系統(tǒng)可以在任何條件下任何位置下10秒以內(nèi)找到最終匹配點使得反射功率小于入射功率的1%,同時系統(tǒng)不隨腔體阻抗的變化而大幅動作,實現(xiàn)了穩(wěn)定的射頻功率輸入,提高了產(chǎn)線的效率和穩(wěn)定性,使射頻電源鍍膜工序不再是整條產(chǎn)線的短板。