目前電感耦合ICP等離子體質譜儀所使用的射頻電源大部分采用電子管設計方案,電子管的射頻電源使用壽命短,需定期更換電子管,使用前需要預熱,且存在輸出頻率不穩定的問題,故客戶希望全固態射頻電源能應用于電感耦合ICP等離子體質譜儀。
我們結合客戶的使用情況,為客戶訂做了27.12MHz和40.68MHz 最大輸出功率為2KW的射頻電源,結合ICP的負載阻抗特性重新設計了自動匹配器,使ICP的阻抗范圍處于自動匹配器的最佳匹配位置。此射頻電源和匹配器配合使用完全滿足了ICP的需求,并且使ICP有效地避免了使用電子管射頻電源的種種不足之處!