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全固態射頻電源的功放采用RF Power MOSFET為元器件，主要由功放模塊，功率檢測模塊，控制模塊和AC/DC電源模塊； 

功放模塊的功能是通過多級射頻功率放大將晶振產生的特定頻率的小信號放大到所需要的射頻功率。 

功率檢測模塊的功能是檢測出功放的輸出功率，性能的好壞直接影響到輸出功率的精確度和穩定度。

控制模塊的主要功能是控制射頻電源的輸出功率為設定值，處理工作中的異常比如VSWR保護，過溫保護等等。

AC/DC模塊將輸入的220V交流電轉換成功放，控制模塊功率檢測模塊所需的直流電壓。