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射頻自動(dòng)匹配器主要用于將等離子體腔體的阻抗匹配成便于全固態(tài)射頻電源輸出最大功率的阻抗。 

射頻電源自動(dòng)匹配器采用兩個(gè)可調(diào)電容來(lái)實(shí)現(xiàn)阻抗變換，通常情況下負(fù)載Chamber的阻抗不是50歐姆，并且阻抗會(huì)隨著Chamber內(nèi)等離子體構(gòu)成壓力的變化而變化，自動(dòng)匹配器能即時(shí)將變化的阻抗匹配為使射頻電源輸出最大功率的阻抗。 

一般采用L型或pi 型匹配結(jié)構(gòu)，具體結(jié)構(gòu)根據(jù)應(yīng)用來(lái)定。

深圳市廣能達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司采用優(yōu)化算法能在根據(jù)負(fù)載的阻抗調(diào)節(jié)電容轉(zhuǎn)速的同時(shí)避免目前PECVD設(shè)備中普遍存在的多匹配器之間的干擾問題，達(dá)到更快更精確的匹配效果而且提高了自動(dòng)匹配器的穩(wěn)定性使用壽命。