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一般情況下有如下三個原因：

a.檢查RF射頻電源和射頻自動匹配器以及等離子體腔體之間的射頻連接接頭是否接緊；或更換射頻同軸電纜和接頭檢查是否壞損；

b.初次使用可能是等離子體腔體的阻抗不在射頻自動匹配器的阻抗范圍內，建議先將射頻自動匹配器的工作模式設定為手動匹配模式進行匹配，如果還是有同樣的問題建議聯(lián)系我們； 

c.匹配器故障，請聯(lián)系我們。