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全固態(tài)射頻電源的功放采用RF MOSFET為元器件，主要由功放模塊，功率檢測(cè)模塊，控制模塊和AC/DC電源模塊；

功放模塊的功能是通過(guò)多級(jí)射頻功率放大將晶振產(chǎn)生的特定頻率的小信號(hào)放大到所需要的射頻功率。

功率檢測(cè)模塊的功能是檢測(cè)出功放的輸出功率，性能的好壞直接影響到輸出功率的精確度和穩(wěn)定度。

控制模塊的主要功能是控制射頻電源的輸出功率為設(shè)定值，處理工作中的異常比如VSWR保護(hù)，過(guò)溫保護(hù)等等。

AC/DC模塊將輸入的220V交流電轉(zhuǎn)換成功放，控制模塊功率檢測(cè)模塊所需的直流電壓。