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AC MAINS 輸入電壓

440Vac 三相 

AC MAINS 輸入頻率

50Hz 至60Hz

輸出阻抗

50Ω

輸出功率

30KW

功率上升下降時(shí)間

<10ms

效率

>60%，滿功率輸出至50Ω負(fù)載

脈沖工作模式脈沖頻率

0-50KHz

脈沖占空比

0.1%-99.9%

最小脈沖寬度時(shí)間

10us

脈沖最大過沖

<10%

輸出頻率

13.56MHz±5%（掃頻功能為選配）

調(diào)頻工作模式下匹配時(shí)間

<100us

諧波

額定輸出至50Ω負(fù)載時(shí)，所有的諧波低于射頻輸出信號(hào)35dB

射頻輸出功率穩(wěn)定度

設(shè)定功率的1%

CEX IN & CEX OUT信號(hào)

TTL

ARC滅弧功能

選配

尺寸

900mm×464mm×500mm

后面板上RS232/485通信接頭

DB9公頭

EtherCat/EtherNet通信接口

RJ45

后面板上CEX IN  & CEX OUT接頭

SMA 母頭

后面板上PULSE IN  & PULSE OUT接頭

SMA母頭

后面板上ARC IN  & ARC OUT接頭

SMA母頭

后面板上ITLK接頭

DB15母頭

后面板上RF OUT輸出接頭

1 5/8'' EIA

冷卻方式

風(fēng)冷和水冷

最小空氣流量

150立方米每小時(shí)

運(yùn)行環(huán)境溫度

+5℃至+40℃

運(yùn)行環(huán)境濕度

5%至70%

運(yùn)行環(huán)境氣壓

78kPa至106kPa

冷卻水溫度

+20℃至+30℃

水流速

10升每分鐘

水壓

>2bar(29psi)