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最高輸出功率

1500W CW 負載為50歐姆

功率范圍 

15-1500W連續可調

最大反射功率 

300W

工作頻率 

400KHz±10% 支持掃頻

負載阻抗

50歐姆

射頻功率控制模式

P forward, P delivered or Process feedback

射頻功率控制精度

± 1 % of setpoint or ± 0.1 % of full rated power

功率上升時間 

< 10 ms

功率關斷時間

< 1 ms

脈沖模式 

支持多級脈沖

脈沖上升時間（10%爬升至90%)

< 2us

脈沖下降時間 

< 2us

脈沖頻率范圍

0Hz至50KHz

占空比范圍

脈沖級數

調頻工作模式下匹配時間             

0.1%-99.9%

4級

< 100μs

諧波 

< -40dBc

雜散 

< -50dBc

輸出連接  

50歐姆7/16型同軸連接器 母頭

遠控接口

串口，網口，EtherCAT

多臺射頻電源同步連接

SMA 母頭

CEX輸入輸出電平

TTL

保護功能

DC電源過流保護，駐波保護，過溫保護

冷卻方式

水冷和強制風冷

空氣冷卻

最小空氣流量為150m3/h，空氣溫度為5-40攝氏度

水冷卻  

冷卻水流量大于5lpm，冷卻水壓力大于2bar

尺寸

580mm X 271mm X 132mm（長X寬X高）     

安裝間距

100mm(上下左右前后所有面)

輸入電壓

380VAC或者208VAC 三相電

輸入電流

20A 滿功率

輸入頻率

50Hz至60Hz

功率因數

98% 至99%

整機效率 

>70%（滿功率，50Ω負載）