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最高輸出功率

2000W CW 負(fù)載為50歐姆

功率范圍 

20-2000W連續(xù)可調(diào)

最大反射功率 

400W

工作頻率 

40.68MHz±5% 支持掃頻

負(fù)載阻抗

50歐姆

射頻功率控制模式

P forward, P delivered or Process feedback

射頻功率控制精度

± 1 % of setpoint or ± 0.1 % of full rated power

功率上升時(shí)間 

< 10 ms

功率關(guān)斷時(shí)間

< 1 ms

脈沖模式 

支持

脈沖上升時(shí)間（10%爬升至90%)

< 2us

脈沖下降時(shí)間 

< 2us

脈沖頻率范圍

0Hz至50KHz

占空比范圍

0.1%-99.9%

諧波 

< -40dBc

雜散 

< -50dBc

輸出連接             

50歐姆7/16型同軸連接器 母頭

遠(yuǎn)控接口

25-pin Analog I/O接口，串口，網(wǎng)口

多臺射頻電源同步連接

SMA 母頭

CEX輸入輸出電平

TTL

前面板顯示 

4寸LED顯示屏

保護(hù)功能

DC電源過流保護(hù)，駐波保護(hù)，過溫保護(hù)

冷卻方式

水冷和強(qiáng)制風(fēng)冷

空氣冷卻

最小空氣流量為150m3/h，空氣溫度為5-40攝氏度

水冷卻  

冷卻水流量大于5lpm，冷卻水壓力大于2bar

尺寸

556mmX483mmX132mm（長X寬X高）    

安裝間距

100mm(上下左右前后所有面)

輸入電壓

380VAC三相電

輸入電流

20A 滿功率

輸入頻率

50Hz至60Hz

功率因數(shù)   

98% 至99%

整機(jī)效率 

>65%（滿功率，50Ω負(fù)載）